選擇合適的行星減速機材料有利于提高減速器的承載能力和使用壽命。
　　針對精密減速器的結構特點和齒輪的受力特點，應廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒齒輪熱處理的方法有很多。如表面淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據齒輪減速器的特點進行選擇。
　　1.外表淬火
　　常見的外觀淬火方法有高頻淬火(小齒輪)和火焰淬火(大齒輪)。外部硬化的硬化層包括牙根的底部時是最有效的。齒面硬度可達45-55HRC。
　　2.滲氮
　　氮化處理可以保證齒輪在最小變形條件下獲得較高的齒面硬度和耐磨性。最好的整理是熱處理后不再進行，這提高了負荷能力。
　　3.滲碳淬火
　　滲碳和淬火齒輪的承載能力相對較大，但必須通過精加工(磨削)來消除熱處理變形，以確保精度。
　　滲碳和淬火齒輪在滲碳前一般采用含碳量為0.2%-0.3%的合金鋼。齒面硬度一般在58-62HRC之間。若低于57HRC，則硬表面硬度明顯降低。添加到。滲碳淬火齒輪的硬度從齒面逐漸降低到深層，有效滲碳深度為從齒面到硬度5.25HRC的深度。

　　滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強度方面的效果除使心部硬度有所提高外，還在于外表的殘余壓應力。它可使最大壓應力區的應力減小，因而磨齒時不能磨齒根部分